簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "分類號".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="潘昭賢"


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    利用半導體製程即時參數值建立缺陷特徵化監控模型
    • 管理研究所 /93/ 碩士
    • 研究生: 戴鴻恩 指導教授: 潘昭賢
    • 在半導體製造上需要對製程機台進行即時資料之趨勢監控外,需要更多能精確判斷製程與機台狀態的新製程偵測技術與方法,特別是在先進的12吋晶圓廠上。在半導體製程技術持續的微縮下,製程的飄移或缺陷通常不是單一…
    • 點閱:666下載:31

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    以虛擬流程在半導體晶片製造上實施新的品質管理策略
    • 管理研究所 /97/ 博士
    • 研究生: 戴鴻恩 指導教授: 潘昭賢
    • 在半導體製造的生產流程上,即時的品質量測和檢測在管制及改善良率上扮演著日趨重要的角色,特別是在先進的12吋晶圓廠上。因此在製程上,晶片層級的量測方法和缺陷檢測是急待突破的兩塊領域。本文針對量測問題提…
    • 點閱:351下載:15
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